每種薄膜材料都有自己獨特的光學透射率或反射率。通過監測荔口反射率，可以有效判斷薄膜的質量。TFT在制造工程中，應進行檢測ITO膜滲透率和金屬膜反射率，監測濺射膜的質量，并進行膜管理。如果成膜后腹質異常，其滲透率或反射率會發生變化的成膜質量可以通過這種變化初步判斷。對于金屬膜，主要用于瀏覽鋁膜或鋁鈮膜的反射率，通過鋁膜或鋁鈮膜的反射率進行膜管理。

圖1示是ITO膜禾玻璃的光學透射率的比較。圖中虛曲線所示是玻璃的光學透射率，實曲線所示是ITO膜的光學透射率。

這兩條曲線在可見光譜區域非常相似。玻璃是絕緣體，可以理解在可見光范圍內有良好的通過率。ITO膜是一種液晶像素電極，不僅要求其高導電性，而且要求其在光譜可見區具有類似玻璃的均勻高透射性，這是相當困難的。這是一對矛盾，良好的導電性是金屬性強，但可見光區域金屬性強的透射很高。這需要在透光率和導電性之間找到平衡ITO化學組織口膜厚度偏差最敏感的監測方法是ITO測量膜的透射光譜。

圖1 ITO膜和玻璃光學透射率的比較

圖2 所示是鋁鈮和鉬釹的光學反射取現、鉻的反射率分布曲線。

圖2 鋁鈮、鉬釹和鉻反射率